本文由半导体产业纵横（ID：ICVIEWS）综合

中微公司Q3营收31.02亿元，同比增长50.62%；归母净利润5.05亿元，同比增长27.50%。

10月29日晚间，国产半导体设备厂商中微公司发布了2025年第三季度报告。财报显示，中微公司2025年前三季度营业收入为80.63亿元，同比增长约46.40%；其中刻蚀设备收入61.01 亿元，同比增长约 38.26%；LPCVD 和 ALD 等薄膜设备收入 4.03 亿元，同比增长约 1332.69%。2025 年前三季度归属于上市公司股东的净利润为 12.11 亿元，较去年同期增长约32.66%。

其中第三季度营收为31.02亿元，同比增长50.62%；归母净利润为5.05亿元，同比增长27.50%。

根据市场需求，公司显著加大研发力度。2025 年前三季度公司研发支出 25.23 亿元，较去年同期增长约 63.44%，研发支出占营业收入比例约为 31.29%。中微公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件的超高深宽比刻蚀工艺实现大规模量产。

其中CCP方面，中微用于关键刻蚀工艺的单反应台介质刻蚀产品保持高速增长，60 比 1 超高深宽比介质刻蚀设备成为国内标配设备，量产指标稳步提升，下一代 90 比 1 超高深宽比介质刻蚀设备即将进入市场。

ICP 方面，适用于下一代逻辑和存储客户用 ICP 刻蚀设备和化学气相刻蚀设备开发取得了良好进展。加工的精度和重复性已达到单原子水平。其为先进存储器件和逻辑器件开发的 LPCVD、ALD 等多款薄膜设备已经顺利进入市场，并且设备性能完全达到国际领先水平，薄膜设备的覆盖率不断增加。

硅和锗硅外延 EPI 设备已顺利运付客户端进行量产验证，并且获得客户高度认可。在泛半导体设备领域，中微正在开发更多化合物半导体外延设备，已陆续付运至客户端开展生产验证。

近些年，中国半导体设备市场发展情况呈现出从依赖进口到自主发展的转型态势。2022年，受全球产业周期下行和国际贸易环境变化影响，市场规模下滑至263亿美元，在此背景下，国内半导体产业加快设备国产化进程，2023年市场规模迅速回升至366亿美元，2024年进一步增长至466亿美元，预计2026年将达470亿美元。

Q3前道半导体设备进口额创历史最高

近日，海关总署公布的数据显示，2025年第三季度前道制造设备进口总额达到101.87亿美元，同比增长15.28%，环比增长33.15%，创下历史最高纪录。

其他光刻设备：Q3其他光刻设备进口数量为145台，同比减少10.49%，环比减少3.97%；进口单价为1916万美元，同比减少1.70%，环比增长113.39%。来自荷兰的其他光刻设备进口数量为50台，同比减少26.47%，环比增长31.58%；进口单价为5338万美元，同比增长19.69%，环比增长63.51%，为历史最高。

分步重复光刻设备：Q3分步重复光刻设备进口数量为58台，同比减少31.76%，环比增长38.10%；进口单价为283万美元，同比增长13.12%，环比增长2.14%。

CVD设备：Q3 CVD设备进口数量为557台，同比增长22.96%，环比增长31.68%，为历史最高；进口单价为346万美元，同比增长12.24%，环比减少8.22%，为历史次高，仅低于Q2的377万美元。

PVD设备：Q3 PVD设备进口数量为131台，同比减少21.56%，环比减少3.68%；进口单价为318万美元，同比增长27.79%，环比减少1.31%。2024年以来PVD进口数量呈现逐步下降趋势，表明国产PVD设备已实现一定程度的突破。

干法刻蚀设备：Q3干法刻蚀设备进口数量为496台，同比增长42.94%，环比增长10.47%；进口单价为429万美元，同比增长40.58%，环比增长11.74%，为历史最高。该设备量价双增且增速显著，同比、环比均保持两位数增长，说明产能扩张向先进制程倾斜。

其他刻蚀及剥离设备：Q3进口数量为126台，同比减少12.50%，环比增长16.67%；进口单价为203万美元，同比减少17.86%，环比减少2.40%，可能预示成熟制程相关设备市场趋于饱和，或进口替代进度快于核心设备。

离子注入：Q3离子注入设备进口数量为138台，同比增长3.76%，环比增长12.20%；进口单价为295万美元，同比减少20.69%，环比减少4.34%。目前国内离子注入机市场被应用材料、亚舍立两家美国厂商垄断，国产化率仅约5%。

热处理设备：Q3氧化扩散等热处理设备进口数量为377台，同比减少2.58%，环比增长34.16%；进口单价为133万美元，同比增长1.88%，环比减少3.95%。自2024年下半年起氧化扩散等热处理设备进口数量整体呈下滑趋势，但进口单价不断走高，表明国产设备在中低端领域已占据一定份额。

旺盛的市场需求为国产设备提供了更多验证与产线导入机会。以中微公司、北方华创为代表的国内头部企业，在行业高景气背景下，凭借部分已达到国际水平的产品，正逐步扩大市场份额。

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